一、磁翻板液位計(jì)傳感器材料
傳感器是利用材料的固有特性或開(kāi)發(fā)的幾次功能特性而制成的,例如利用高溫超導(dǎo)材料的研究成果,開(kāi)發(fā)出約瑟夫遜效應(yīng)磁敏器件。所以沒(méi)有好的材料就不可能有好的傳感器,新的材料出現(xiàn)將推動(dòng)傳感器的發(fā)展躍上一個(gè)新臺(tái)階。但由于制作一種傳感器有很多材料可供選擇.同時(shí)一種材料又可能對(duì)很多信息具有敏感特性,所以傳感器所涉及的材料問(wèn)題十分錯(cuò)綜復(fù)雜。
傳感器材料按材料所起的作用分為敏感材料和輔助材料。敏感材料是傳感器材料的核心,傳感器主要是根據(jù)敏感材料的固有特性或開(kāi)發(fā)的二次功能特性為理論基礎(chǔ),因而敏感材料的開(kāi)發(fā)是傳感器材料開(kāi)發(fā)技術(shù)的重點(diǎn).敏感材料的品種繁多,性能要求嚴(yán)格,例如有半導(dǎo)體材料、石英敏感材料、高分子敏感材料等。
輔助材料是傳感器發(fā)展不可缺少的組成部分。對(duì)輔助材料的選擇與應(yīng)用是否合理將直接影響傳感器的靜態(tài)、動(dòng)態(tài)特性及穩(wěn)定性、可靠性和壽命。應(yīng)根據(jù)傳感器不同的應(yīng)用場(chǎng)合,選擇防腐液位計(jì)符合特殊要求的輔助材料。例如傳感器用的保護(hù)材料就有耐腐蝕材料、抗核輻射材料、抗高溫氧化材料、抗電磁干擾材料、耐磨抗沖刷材料、防爆材料等。例如電阻應(yīng)變計(jì)主要需要4種材料:電阻敏感柵、基底、貓結(jié)劑和引出線。電阻敏感柵材料屬于敏感材料,其他3種屬于輔助材料.
按材料的特性可將傳感器材料分為半導(dǎo)體材料、敏感陶瓷材料、石英敏感材料、金屬及合金材料、無(wú)機(jī)材料、有機(jī)材料、生化材料、高分子敏感材料、超晶格等。
國(guó)內(nèi)外對(duì)敏感材料的開(kāi)發(fā)和應(yīng)用發(fā)展較快,尤其是世界先進(jìn)工業(yè)國(guó)家集各路精英,發(fā)揮各自?xún)?yōu)勢(shì),取長(zhǎng)補(bǔ)短,共克傳感器材料難關(guān),將會(huì)有更多性能更優(yōu)的敏感材料出現(xiàn)。
二、傳感器的制作技術(shù)
傳感器技術(shù)的發(fā)展依賴(lài)于傳感器制作技術(shù)的發(fā)展·隨著傳感器不斷向半導(dǎo)體化、集成化、小型化和智能化方向發(fā)展,傳感器制作技術(shù)主要是微系統(tǒng)技術(shù)(或稱(chēng)為微機(jī)械加工技術(shù))。微系統(tǒng)技術(shù)不但指組成微系統(tǒng)的部件是用微機(jī)械加工制成的,而且這些部件組合成系統(tǒng)也是采用微機(jī)械加工技術(shù)。它是浮球液位計(jì)集微機(jī)械、微電子、微光學(xué)和數(shù)據(jù)處理軟件等為一體的一門(mén)綜合技術(shù)。微系統(tǒng)技術(shù)包括組成系統(tǒng)的各個(gè)部件及子系統(tǒng)的加工工藝和將它們集成到一起形成完整系統(tǒng)的加工工藝。 部件及子系統(tǒng)主要涉及的技術(shù)
(1)半導(dǎo)體工藝;
(2)硅微機(jī)械加工技術(shù);
(3)集成光學(xué)技術(shù);
(4)厚膜·薄膜技術(shù);
(5)毫微技術(shù);
(6)刻蝕技術(shù):
(7) X射線深層光刻電鑄成型(LIGA)技術(shù);
(8)激光加工技術(shù)。
2.系統(tǒng)的集成包括系統(tǒng)的底盤(pán)、組裝和連線、主要涉及的技術(shù)
(1)硅技術(shù)、厚膜薄膜技術(shù)、微機(jī)械加工技術(shù)和激光加工技術(shù)等:
(2)鍵合主要有芯片A接、共熔鍵合、焊接、玻璃封接、靜電封接等技術(shù);
(3)接線主要有壓焊、倒裝式焊接、TAB(帶自動(dòng)焊接)等技術(shù)。
當(dāng)傳感器用石英、陶瓷、高分子聚合物和金屬材料為基底時(shí),還要用到玻璃管液位計(jì)超精密機(jī)械加工(如激光打孔)。
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