磁翻板液位計微執行器的主要特點
從直觀上看.微執行器的功能和一般執行器非常類似.它僅僅是~般執行器在幾何尺寸上的縮小.其實不然，這是由于當微執行器的特征尺寸一旦小到微米或納來數量級后，某些傳統機械的物理持性有可能不再適用，便得兩者之間在加工方法、設汁思想、結構特點、材料選擇、直至基本機理等方面均有很大區別.再由干微執行器的仲類縈多，涉及面很廣，是一門多學科的綜合交又技術。它涉及到微電子學、微機械學、微動力學、微摩擦學、材料學及微熱力學等多種學科.這給微執行器的開發研制增加了許多困難.并引發出許多技術的不斷創新。再者，由于微小尺寸效應，使得宏觀世界的許多知識與法則不再適用，這又引起了設計思想和加工工藝的創新。并引出了許多值得深人研究的新課題.諸如:
1)摩擦和磨損許多執行器中往往都存在著運動部件，必然要產生相對摩擦和磨損。例如。防腐液位計馬達是自動控制系統中最常見的執行器之一其應用范圍遍及各個領域。在一般的馬達中，機械摩擦損耗僅占其總愉出功率的百分之幾甚至更小。而在直徑僅為1^-2 mm.高度不到〕mm的電進型微馬達中.由于它所產生的電磁轉矩很小，僅在1zN-m數量級。機械摩林撅耗所占的比例就很大.甚至它所產生的電磁轉矩不足以克服機械摩擦.從而使得該做馬達不能正常運行.而許多傳統的減少摩擦的有效方法(如安裝滾珠軸承，加潤滑油等)又往往不適用干微馬達.
深人研究結果表明:當微執行器中運動部件的幾何尺寸小到納米數量級時，原有宏觀摩擦學中的一些基本規律將不再適用。于是出現了微觀摩攘學。雖然目前微執行器中的運動部件的幾何尺寸一般均在徽米數量級甚至更大，還不屬于徽觀摩擦學范疇.但隨著微執行器幾何尺寸的不斷減小。摩擦對其輸出力矩的影響將越來越大。為了提高傲執行器的工作效率和品質，對其中的摩揀和磨損問題還是值得高度重視，并需要開展深人研究的，
2)加工制造工藝隨著浮球液位計執行器體積的不斷減小，在加工制造工藝方面.許多傳統的機械加工工藝(如車、銑、淞、鑄等)已不能完全勝任，需要借助于現代徽電子
工業中的微細加工技術、組封裝技術和超梢密裝配技術來完成。微制造技術是制造尺寸為亞毫米到納米數量級的微小器件的重要加工方法.因此也是研究開發微執行器的工藝基礎。例如在直徑僅為I mm的電磁型微馬達中的定子繞組就無法采用傳統繞制工藝，而只能借助于微細加工工藝來完成。
3)多學科交又微執行器的發展歷史很短，至今僅數十年時間。但開發和研究所涉及的面很廣，是多學科前沿的綜合交叉。且玻璃管液位計加工工藝復雜，加工設備先進.圖1一4顯示了它的設計、加工所涉及的學科和基本工藝流程。
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